Wafer测试、衬底/晶圆测试、外延测试服务
ACS拥有国内优秀的半导体科研团队、先进的半导体测试设备，为您提供精确、完善的服务
|
仪器设备 |
测试项目 |
测试方法 |
|
高分辨XRD测试系统 |
外延层厚度、组分含量 |
ω/2θ扫描、摇摆曲线扫描、In-plane扫描、 |
|
倒格矢扫描 |
||
|
PL测试 |
量子阱发光波长 |
曲线 |
|
PL Maping |
|
PL测试 |
|
方阻仪 |
外延层方块电阻及其均匀性 |
方块电阻 |
|
台阶仪 |
外延层的厚度 |
二维台阶高度扫描 |
|
霍尔测试设备（自建设备） |
室温和77K下外延层的载流子浓度和迁移率 |
霍尔测试 |
|
SurfaceScan颗粒度检测 |
外延层表面颗粒度 |
|
|
Candela颗粒度检测 |
外延层表面颗粒度 |
|
